• ろ過精度5nm、10nm、40nmをラインナップ
• カートリッジ(10"・20")とカプセル(5")をラインナップ
• 高いゲル状異物除去能力
• 特殊洗浄処理によりメタル、有機物の溶出を低減
• 中空糸膜構造により高流量、低圧損、長寿命を実現
• ナイロンによる金属イオン低減効果

フォトレジスト、レジスト原料、樹脂のろ過

シンナー、現像液のろ過

無機・有機薬品のろ過

反射防止膜（TARC、BARC）のろ過

洗浄液、剥離液、エッチング液のろ過

超純水、アルコールのろ過