• PTFEメンブレンを使用し幅広い化学薬品に適用可能
• 純水フラッシング済みなので初期の立ち上げ時間を短縮
• サポート材にPEを使用したタイプは低溶出で半導体高純度薬品に適用可能
• 孔径0.05～10μmを揃え前ろ過から最終ろ過まで対応可能
• 10インチ、20インチ、30インチカートリッジをラインナップ

レジスト、レジスト原料のろ過

封止材、コーティング材のろ過

有機・無機薬品のろ過

現像液、洗浄液のろ過

シンナー、アルコール、超純水のろ過

タンク用エアベント