• 親水性ナイロンメンブレンを使用し水系流体のろ過に最適
• サポート材にPEを使用し低溶出で高純度薬品に適用可能
• 純水フラッシング済みなので初期の立ち上げ時間を短縮
• 孔径0.05～0.6μmを揃え幅広いろ過に対応可能
• 10インチ、20インチ、30インチカートリッジをラインナップ

レジスト、レジスト原料のろ過

現像液、洗浄液、超純水のろ過

シンナー、アルコールのろ過

有機・無機薬品のろ過