• 高ろ過精度の中空糸膜を採用
• ろ過精度は0.003μｍ（3nm）
• 優れた異物捕捉能力
• 流量目安は、450L/min（0.7MPa／△0.03MPa時）
• 小型、軽量、コンパクト
• 装置内の省スペース化に貢献
• オール樹脂製

半導体、医療、食品まで幅広い用途でご採用頂いています。

• 半導体製造装置、FPD製造装置内の駆動エア、
  ブローエアのろ過
• 搬送用エアのろ過（ベルヌーイチャックなど）
• 塗装用圧送エアのろ過
• 食品への除菌エアブロー
• グローブボックスなどへのクリーンエアパージ