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画像: ポリフィックス PE シリーズ

ポリフィックス PE シリーズ

【中空糸膜】オールPEカプセル・カートリッジフィルター

特徴
  • オールポリエチレン製(中空糸膜、ケース)
  • 幅広い耐薬品性能
  • ろ過精度5nm~0.1μmまでラインナップ
  • カートリッジ(10"・20")とカプセル(3"・5")をラインナップ
  • ゲル状異物除去能力でDEFECT低減に効果
  • 特殊素材+特殊洗浄処理によりメタル、有機物の溶出を低減
  • 中空糸膜構造により高流量、低圧損、長寿命を実現し、
    ろ過プロセスの生産性向上に貢献
用途例

レジスト、レジスト原料のろ過

シンナー、現像液のろ過

有機・無機薬品のろ過

反射防止膜(TARC、BARC)のろ過

洗浄液、剥離液、エッチング液のろ過

超純水、アルコールのろ過

製品記号構成
画像: ポリフィックス PE シリーズの製品記号構成
仕様
画像: ポリフィックス PE シリーズの仕様
流量特性
画像: ポリフィックス PE シリーズの流量特性
外形寸法
画像: ポリフィックス PE シリーズの外形寸法

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